淄博高新技术产业开发区MEMS研究院由淄博高新区管委会与清华大学机械工程学院于2010年11月共同建设，是微机电制造领域国内第一个校地共建研究院，是全国微纳制造、器件与系统协同创新中心成员单位。研究院聘任中国工程院院士、清华大学副校长尤政担任院长。

研究院设有“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、“清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”等分中心和分实验室，提供MEMS器件小试、中试、代工、检测分析等专业服务，及微机电制造领域知识产权管理和工艺标准化等公共服务。

MEMS研究院投资建设了国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净规模国内一流；配备了国际一流设备的中试代工线，中试生产能力可达月产传感器十万只，产品的测试环境也居国内先进水平。